01650nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245029100122300002300413545006300436545006300499545007300562545006000635545005000695653019200745700005300937700001400990700003601004700001401040700004801054773013601102900001701238900001601255900001801271900001701289900001801306KSI00064652620071004134244070822s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc22(1)00a레이저 빔 단면확대를 이용한 나노 복화(複畵)공정의 패턴 정밀도 향상에 관한 연구=xFabrication of precise patterns using a laser beam expanding technique in nano-replication printing(nRP) process/d박상후,e임태우,e양동열,e이신욱,e공홍진  ap. 175-182;c26 cm  a박상후, 한국과학기술원 기계공학과 대학원  a임태우, 한국과학기술원 기계공학과 대학원  a양동열, 한국과학기술원 기계공학과bdyyang@kaist.ac.kr  a이신욱, 한국과학기술원 물리학과 대학원  a공홍진, 한국과학기술원 물리학과  a나노 복화공정a이광자 흡수 고화a펨토초 레이저a빔확대aNano replication printing processanRPaTwo-photon absorbed polymerizationaFemtosecond laseraBeam expansion1 a박상후,g朴相厚,d1969-0KAC2013173724aut1 a임태우1 a양동열,d1950-0KAC2016224441 a이신욱1 a공홍진,g孔弘珍,d1953-0KAC2016233870 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g22권 1호(2005년 1월), p. 175-182q22:1<175w(011001)KSE199508376,x1255-907110aPark, Sanghu10aLim, Taewoo10aYang, Dongyol10aYi, Shinwook10aKong, Hongjin