01680nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245028000123300002300403545007500426545005600501545005600557545005600613545005600669653021400725700001900939700003600958700003600994700004801030700004801078773013901126900001701265900001901282900001501301900001701316900002101333KSI00064625320071004134243070821s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc21(12)00a유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술=xMicromachining thin film using femtosecond laser photo patterning of organic self-assembled monolayers/d최무진,e장원석,e김재구,e조성학,e황경현  ap. 160-166;c26 cm  a최무진, 한국기계연구원 나노공정그룹bmoojin@kimm.re.kr  a장원석, 한국기계연구원 나노공정그룹  a김재구, 한국기계연구원 나노공정그룹  a조성학, 한국기계연구원 나노공정그룹  a황경현, 한국기계연구원 나노공정그룹  a자기조립단분자막a레이저 패터닝a금속 박막a마이크로 가공a레이저 직접 가공aSelf-assembled monolayersaLaser patterningaThin metal filmaMicromachingingaLaser direct machining1 a최무진4aut1 a장원석,d1972-0KAC2018255491 a김재구,d1967-0KAC2018525481 a조성학,g趙聖學,d1970-0KAC2018493901 a황경현,g黃瓊玹,d1952-0KAC2016243310 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g21권 12호(2004년 12월), p. 160-166q21:12<160w(011001)KSE199508376,x1255-907110aChoi, Moojin10aChang, Wonseok10aKim, Jaegu10aCho, Sunghak10aWhang, Kyunghyun