01055nam a2200205 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003000080245016500110300002100275545008700296545005900383653013400442700005300576700004800629773013600677900001700813900001900830KSI00064658820071004134212070822s2003    ulk           000   kor    a01100101a555.05b한613ㅈc20(12)00a초미세 공정 및 장비 기술의 국가 기술 로드맵=x(The)national technology roadmap of nano-scale processing and equipments/d이응숙,e박철우  ap. 19-24;c26 cm  a이응숙, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부bles648@kimm.re.kr  a박철우, 한국산업기술대학교 기계공학과  a나노기술a국가기술지도a나노 메카트로닉스aNanotechnologyaNTRMaNano-mechatronicsaNational technology roadmap1 a이응숙,g李應淑,d1958-0KAC2017004554aut1 a박철우,g朴哲佑,d1966-0KAC2012274480 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g20권 12호(2003년 12월), p. 19-24q20:12<19w(011001)KSE199508376,x1225-907110aLee, Eungsug10aPark, Cheolwoo