01402nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245026200122300002300384545006300407545005300470545005300523545005300576653013900629700001900768700003600787700004800823700003600871773013600907900001701043900001601060900001801076900001801094KSI00064102520071004134143070813s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc19(7)00a레이저 국소증착법에 의한 탄소 미세 구조물의 제조시 성장특성에 관한 연구=xGrowth characteristics of micro carbon structures fabricated by laser-assisted chemical vapor deposition/d김진범,e이선규,e이종현,e정성호  ap. 106-115;c26 cm  a김진범, 광주과학기술원 대학원 기전공학과  a이선규, 광주과학기술원 기전공학과  a이종현, 광주과학기술원 기전공학과  a정성호, 광주과학기술원 기전공학과  a레이저 국소 증착법a탄소 구조물a미세 구조물a표면상태aLCVDaCarbon structureaMicro structureaSurface quality1 a김진범4aut1 a이선규,d1957-0KAC2018498811 a이종현,g李鐘泫,d1958-0KAC2020K41271 a정성호,d1962-0KAC2017482100 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g19卷 7號(2002년 7월), p. 106-115q19:7<106w(011001)KSE199508376,x1225-907110aKim, Jinbeom10aLee, Sunkyu10aLee, Jonghyun10aJeong, Sungho