01315nam a2200277 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052002900080245015600109300002100265545008000286545006200366545005900428545005900487653013400546700004100680700004800721700001400769700004800783773013300831900001700964900002000981900001901001900001701020KSI00063959420071004134136070809s2002    ulk           000   kor    a01100101a555.05b한613ㅈc19(3)00a나노 인덴테이션 시험의 원리 및 응용=xPrincipal and applications of nanoindentation test/d한준희,e이광렬,e김광석,e이상율  ap. 19-26;c26 cm  a한준희, 한국표준과학연구원 물질량표준부bjuny@kriss.re.kr  a이광렬, 한국과학기술원 박막기술연구센터  a김광석, 한국항공대학교 항공재료공학과  a이상율, 한국항공대학교 항공재료공학과  a나노 인덴테이션a박막a경도a탄성계수aDLCaPolyimideaMEMSaNanoindentationaThin filmaHardnessaElastic modulus1 a한준희,d1960-0KAC2017407804aut1 a이광렬,g李光烈,d1961-0KAC2017100261 a김광석1 a이상율,g李商律,d1959-0KAC2017537650 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g19卷 3號(2002년 3월), p. 19-26q19:3<19w(011001)KSE199508376,x1225-907110aHahn, Junhee10aLee, Kwangryeol10aKim, Kwangseok10aLee, Sangyul