01260nam a2200241 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052002900080245019400109300002100303545007300324545005700397545005700454653022100511700004100732700001400773700004800787773013300835900001600968900001500984900001900999KSI00063880720071004134132070808s2002    ulk           000   kor    a01100101a555.05b한613ㅈc19(1)00a나노트라이볼로지:b초정밀 미세시스템에의 응용과 전망=xNanotribology:bprospects and applications in ultra-precision micro-systems/d김대은,e성인하,e정구현  ap. 33-42;c26 cm  a김대은, 연세대학교 기계전자공학부bkimde@yonsei.ac.kr  a성인하, 연세대학교 기계공학과 대학원  a정구현, 연세대학교 기계공학과 대학원  a나노트라이볼로지a주사탐침현미경a분자동역학적 모의실험a기계화학적 미세가공aNanotribologyaScanning probe microscopyaMolecular dynamic simulationaMechano-chemical micro-machining1 a김대은,d1966-0KAC2017375214aut1 a성인하1 a정구현,g鄭求炫,d1972-0KAC2017471910 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g19卷 1號(2002년 1월), p. 33-42q19:1<33w(011001)KSE199508376,x1225-907110aKim, Daeeun10aSung, Inha10aChung, Koohyun