01958na  a2200433   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245021000122300002300332545005600355545005600411545005600467545005600523545005600579545005000635545003700685545003700722653023600759700001900995700001401014700003601028700003601064700004801100700001401148700003601162700004801198773013601246900001801382900001801400900001501418900001701433900002101450900002001471900001701491900001601508KSI00064295120071004134108070816s2000    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc17(8)00aUV 레이저를 이용한 Cr 박막의 어블레이션=x(The)UV laser ablation of Cr film on glass substrate/d윤경구,e이성국,e김재구,e최두선,e황경현,e정재경,e장원석,e나석주  ap. 134-139;c26 cm  a윤경구, 한국기계연구원 자동화연구부  a이성국, 한국기계연구원 자동화연구부  a김재구, 한국기계연구원 자동화연구부  a최두선, 한국기계연구원 자동화연구부  a황경현, 한국기계연구원 자동화연구부  a정재경, 한국과학재단 인턴연구원  a장원석, 한국과학기술원  a나석주, 한국과학기술원  a엑사이머 레이저aCr 박막a어블레이션a제거 메카니즘a표면형태a최적상태a미소 패터닝aKrF excimer laseraCr filmaAblationaRemoval mechanismaSurface morphologyaOptimal conditionaMicro patterning1 a윤경구4aut1 a이성국1 a김재구,d1967-0KAC2018525481 a최두선,d1963-0KAC2018324411 a황경현,g黃瓊玹,d1952-0KAC2016243311 a정재경1 a장원석,d1972-0KAC2018255491 a나석주,g羅錫柱,d1952-0KAC2017046290 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g17卷 8號(2000년 8월), p. 134-139q17:8<134w(011001)KSE199508376,x1225-907110aYoon, Kyungku10aLee, Seongkuk10aKim, Jaegu10aChoi, Doosun10aWhang, Kyunghyun10aJung, Jaekyoung10aJang, Wonsuk10aNa, Suckjoo