01329nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245020700123300002100330545005900351545005900410545005900469545005900528653017500587700001900762700001400781700001400795700003600809773013600845900001500981900001400996900001501010900001401025KSI00063983320071004134003070809s1997    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc14(10)00a압전 구동기를 이용한 미소절삭 공구대의 정밀위치제어=xPrecision position control of a fast tool servo using piezoelectric actuators/d송재욱,e김승한,e송하성,e김호상  ap. 50-57;c26 cm  a송재욱, 고등기술연구원 생산기술연구실  a김승한, 고등기술연구원 생산기술연구실  a송하성, 고등기술연구원 생산기술연구실  a김호상, 고등기술연구원 생산기술연구실  a미소절삭 공구대a압전 구동기a이력보상기a정밀위치제어aFast tool servoaPiezoelectric actuatoraHysteresis compensatoraPrecision position control1 a송재욱4aut1 a김승한1 a송하성1 a김호상,d1969-0KAC2016344750 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g14卷 10號(1997년 10월), p. 50-57q14:10<50w(011001)KSE199508376,x1225-907110aSong, J.W.10aKim, S.H.10aSong, H.S.10aKim, H.S.