02038nam a2200445 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003600093245026300129300002100392545007000413545006800483545007000551545006200621545006200683545005900745545008400804545005700888653013500945700001901080700001401099700001401113700001401127700004801141700003601189700003601225700004801261773012101309856002101430900001801451900002001469900001501489900001701504900001901521900001901540900001501559900001801574KSI00061335120070814133435070627s2005    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc14(1)-14(3)00a실리콘 미세 가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성=xFabrication and characteristics of micro-machined thermoelectric flow sensor/d이영화,e노성철,e나필선,e김국진,e이광철,e최용문,e박세일,e임영언  ap. 22-27;c26 cm  a이영화, 충남대학교 대학원 재료공학과 박사과정  a노성철, 한국기계연구원 열유체공정기술연구부  a나필선, 충남대학교 대학원 재료공학과 박사과정  a김국진, 한국표준과학연구원 전자기표준부  a이광철, 한국표준과학연구원 전자기표준부  a최용문, 한국표준과학연구원 물리표준부  a박세일, 한국표준과학연구원 전자기표준부bseilpark@kriss.re.kr  a임영언, 충남대학교 신소재공학부 교수  aThermoelectric flow sensoraSensitivityaFlow rateaKOH anisotropic etchinga실리콘 미세 가공a열전형 미소유량센서1 a이영화4aut1 a노성철1 a나필선1 a김국진1 a이광철,g李光哲,d1968-0KAC2018K23601 a최용문,d1959-0KAC2017077751 a박세일,d1961-0KAC2018438221 a임영언,g林榮彦,d1954-0KAC2018174760 t센서학회지.d한국센서학회.g14권 1호(2005년 1월), p. 22-27q14:1<22w(011001)KSE199508532,x1225-547540u45032516aKd00010aLee, Younghwa10aRoh, Sungcheoul10aNa, Pilsun10aKim, Kookjin10aLee, Kwangchul10aChoi, Yongmoon10aPark, Seil10aIhm, Youngeon