01499nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245022700126300002100353545004300374545004300417545004300460545004300503545003400546545003200580653008400612700001900696700001400715700003600729700004800765700001400813700001400827773018900841900001901030900001701049900001801066900001801084900001701102900001801119KSI00058530220070706164336070413s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a028.105b한634ㅎㅅc14(2)00a지능형 알고리즘을 이용한 wet station용 스마트 제어기 설계=xDesign of smart controller using intelligent algorithm for wet station/d홍광진,e김종원,e조현찬,e김광선,e김두용,e조중근  ap. 67-70;c30 cm  a홍광진, 한국기술교육대학교  a김종원, 한국기술교육대학교  a조현찬, 한국기술교육대학교  a김광선, 한국기술교육대학교  a김두용, 순천향대학교  a조중근, (주) 한국 DNS  a반도체장비a지능 알고리즘a약액공급장치aIntelligent algorithm1 a홍광진4aut1 a김종원1 a조현찬,d1960-0KAC2018299681 a김광선,g金光宣,d1954-0KAC2013106581 a김두용1 a조중근0 t학술대회 학술발표논문집-한국퍼지 및 지능시스템학회.d한국퍼지 및 지능시스템학회.g14권 2호(2004년 추계), p. 67-70q14:2<67w(011001)KSE19950752910aHong, Kwangjin10aKim, Jongwon10aCho, Hyunchan10aKim, Kwangsun10aKim, Dooyong10aCho, Jungkeun