01142nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003200093245020900125300002100334545007600355545007500431653012600506700005400632700004800686773015500734900001700889900001800906KSI00057557020060919165052060907s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a565.05b한615ㅈㅁc18(5)00a비대칭 전극계에서의 1차원적 RF 플라즈마 모델링에 관한 연구=xStudy on RF plasma modeling between unequal-sized electrodes using one-dimensional fluid method/d소순열,e임장섭  ap. 35-41;c26 cm  a소순열, 훗가이도대학교 대학원 연구원bjanylim@mmu.ac.kr  a임장섭, 목포해양대학교 해양전자통신공학부 부교수  a비대칭 전극계aRF 플라즈마aRF plasmasaRadio frequency plasmasaFluid modelsaPlasma spaceaElectric potential1 a소순열,g蘇淳烈,d1970-0KAC2018278234autt1 a임장섭,g林暲燮,d1967-0KAC2018363370 t조명·전기설비학회논문지.d韓國照明·電氣設備學會.g18권 5호(2004년 9월), p. 35-41q18:5<35w(011001)KSE199800999,x1229-469110aSo, Soonyoul10aLim, Jangseob