01051nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003800093245016800131300002100299545009400320545005700414653007200471700005300543700004800596773015500644900001800799900001600817KSI00057408320060919165048060905s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a565.05b한615ㅈㅁc18(1)-18(3)00a모델링을 통한 Ar 플라즈마 중의 미립자 운동에 관한 연구=xModeling and analysis of fine particle behavior in Ar plasma/d임장섭,e소순열  ap. 52-59;c26 cm  a임장섭, 목포해양대학교 해양전자통신공학부 부교수bjanylim@mmu.sc.kr  a소순열, 훗가이도대학교 대학원 연구원  a미립자 플라즈마a쉬스 영역aPoisson 분포aRF Ar plasma1 a임장섭,g林暲燮,d1967-0KAC2018363374aut1 a소순열,g蘇淳烈,d1970-0KAC2018278230 t조명·전기설비학회논문지.d韓國照明·電氣設備學會.g18권 1호(2004년 1월), p. 52-59q18:1<52w(011001)KSE199800999,x1229-469110aLim, Jangseop10aSo, Sunyule