01126nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003800093245018000131300002100311545009400332545005700426653013500483700005300618700004800671773015500719900001800874900001600892KSI00057403720060919165048060905s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a565.05b한615ㅈㅁc18(1)-18(3)00a유체 모델을 이용한 질소 플라즈마의 특성 분석=x(The)analysis of nitrogen plasma using one-dimensional self-consistent RF fluid-model/d임장섭,e소순열  ap. 28-35;c26 cm  a임장섭, 목포해양대학교 해양전자통신공학부 부교수bjanylim@mmu.sc.kr  a소순열, 훗가이도대학교 대학원 연구원  a유체 모델a질소 플라즈마a용량결합형 플라즈마aSG법aNPaNitrogen plasmaaCCPaScharfetter and Gummol's mothod1 a임장섭,g林暲燮,d1967-0KAC2018363374aut1 a소순열,g蘇淳烈,d1970-0KAC2018278230 t조명·전기설비학회논문지.d韓國照明·電氣設備學會.g18권 1호(2004년 1월), p. 28-35q18:1<28w(011001)KSE199800999,x1229-469110aLim, Jangseop10aSo, Sunyule