01601nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003700093245027600130300002100406545008300427545005900510545005900569545005900628545005900687653016600746700001900912700001400931700004800945700003600993700004801029773012701077900001401204900001401218900001401232900001501246900001401261KSI00058092320060919105302060914s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc13(1)-13(4)00a엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성=xPolycrystalline silicon thin film fabricated on plastic substrates by excimer laser annealing/d조세현,e이인규,e김영훈,e문대규,e한정인  ap. 29-33;c26 cm  a조세현, 한국항공대학교 항공재료공학과bvisionmaker7@hau.ac.kr  a이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과  a김영훈, 전자부품연구원 디스플레이센터  a문대규, 전자부품연구원 디스플레이센터  a한정인, 전자부품연구원 디스플레이센터  a플라스틱a다결정 실리콘a엑시머 레이저aRF 마그네트론 스퍼터링aPlasticaPolycrystalline siliconaExcimer laseraRF magnetron sputtering1 a조세현4aut1 a이인규1 a김영훈,g金永薰,d1976-0KAC2018599501 a문대규,d1965-0KAC2017047991 a한정인,g韓正仁,d1961-0KAC2017076560 t한국진공학회지.d韓國眞空學會.g13권 1호(2004년 3월), p. 29-33q13:1<29w(011001)KSE199508370,x1225-882210aCho, S.H.10aLee, I.K.10aKim, Y.H.10aMoon, D.K.10aHan, J.I.