01498nam a2200325 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003900093245023300132300002300365545005300388545007500441545004700516545005300563545005300616653012000669700001900789700001400808700004800822700001400870700004800884773015600932900001701088900001801105900001701123900001401140900001801154KSI00054457020060824151336060731s2004 ulk 000 kor  a0110010 akorbeng01a569.205b한597ㅈㄱc17(5)-17(8)00aBias 전압에 따른 ZnO:Al 투명전도막의 전기적 특성=xSubstrate bias voltage dependence of electrical properties for ZnO:Al film by DC magnetron sputtering/d박강일,e김병섭,e임동건,e이수호,e곽동주 ap. 738-747;c26 cm a박강일, 경성대학교 전기전자공학과 a김병섭, 경성대학교 전기전자공학과bdjkwak@star.ks.ac.kr a임동건, 충주대학교 전자공학과 a이수호, 경성대학교 전기전자공학과 a곽동주, 경성대학교 전기전자공학과 aZnO:Al filmaDC magnetron sputteringaResistivityaTransmittanceaBias voltageaBias 전압aZnO:Al 투명전도막1 a박강일4aut1 a김병섭1 a임동건,g林東建,d1970-0KAC2017065211 a이수호1 a곽동주,g郭東周,d1958-0KAC2016370720 t전기전자재료학회 논문지.d한국전기전자재료학회.gVol.17 no.7(2004년 7월), p. 738-747q17:7<738w(011001)KSE199800338,x1226-794510aPark, Kangil10aKim, Byungsub10aLim, Donggun10aLee, Suho10aKwak, Dongjoo