02218nam a2200481 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245030100126300002100427545005400448545005400502545005400556545005400610545006000664545005600724545005600780545004700836545008600883653014600969700001901115700001401134700004001148700001401188700001401202700004801216700004801264700004801312700004801360773014201408856002101550900001801571900001901589900001701608900001801625900001901643900002001662900001901682900001701701900001801718KSI00056542320060830134622060825s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a558.05b한642c31(6)-31(10)00a플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석=xDeformation analysis of the surface micromachined MEMS structures due to the plasma ashing process/d김종훈,e황근철,e이백우,e김정길,e김광석,e백창욱,e김용권,e권동일,e김용협  ap. 53-62;c26 cm  a김종훈, 서울대학교 공과대학 대학원  a황근철, 서울대학교 공과대학 대학원  a이백우, 서울대학교 공과대학 대학원  a김정길, 서울대학교 공과대학 대학원  a김광석, 한국항공대학교 공과대학 대학원  a백창욱, 서울대학교 전기컴퓨터공학부  a김용권, 서울대학교 전기컴퓨터공학부  a권동일, 서울대학교 재료공학과  a김용협, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부byhkim@gong.snu.ac.kr  aMEMSaMicro-electro-mechanical systemaPlasma ashing processa플라즈마 애싱aResidual stressa잔류 응력aDry etchinga건식 식각1 a김종훈4aut1 a황근철1 a이백우,g李柏雨0KAC2020496081 a김정길1 a김광석1 a백창욱,g白昌煜,d1970-0KAC2017224141 a김용권,g金容權,d1960-0KAC2014147531 a권동일,g權東一,d1957-0KAC2016373161 a김용협,g金龍協,d1956-0KAC2016350970 t韓國航空宇宙學會誌.d韓國航空宇宙學會.g제31권 7호(2003년 9월), p. 53-62q31:7<53w(011001)KSE199509707,x1225-134840u40132960aKd00010aKim, Jonghoon10aHwang, Kunchul10aLee, Baikwoo10aKim, Jeonggil10aKim, Gwangseok10aBaek, Changwook10aKim, Yongkweon10aKwon, Dongil10aKim, Yonghyup