01275nam a2200301 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245016900126300002000295545005700315545005700372545006500429545005300494653012300547700001900670700001400689700003600703700001400739773014100753856002100894900001400915900001500929900001500944900001400959KSI00055625320080414132406060814s2003    tjk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한526ㅎc6(1)-6(3)00a비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구=x(An)optical study on ELC process of amorphous silicon/d김우진,e윤창환,e박승호,e김형준  ap. 9-18;c26 cm  a김우진, 홍익대학교 대학원 기계공학과  a윤창환, 홍익대학교 대학원 기계공학과  a박승호, 홍익대학교 기계시스템디자인공학과  a김형준, 홍익대학교 신소재공학과속  a비정질 실리콘aELC 공정aExcimer laser crystallizationaSuper lateral growthaAmorphous SiaPolycrystalline Si1 a김우진4aut1 a윤창환1 a박승호,d1958-0KAC2018382881 a김형준0 t한국레이저가공학회지.d한국레이저가공학회.gVol.6 no.2(2003년 8월), p. 9-18q6:2<9w(011001)KSE199901120x1229-096340u30053629aKd00210aKim, W.J.10aHwan, Y.C.10aPark, S.H.10aKim, H.J.