01338nam a2200301 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003600093245025600129300002300385545007100408545004700479545004700526545004700573653009700620700001900717700003600736700001400772700003600786773012400822856002100946900001600967900001700983900001701000900001901017KSI00055464120060816100545060811s2004    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc13(4)-13(6)00a마이크로 패키지의 밀폐도 측정을 위한 정전용량형 폴리이미드 습도센서=x(A)capacitive type humidity sensor using a polyimide film for hermeticity measurement of micro packages/d김용호,e김용준,e김경일,e김중현  ap. 132-136;c26 cm  a김용호, 연세대학교 기계공학과byonghokim@yonsei.ac.kr  a김용준, 연세대학교 기계공학과  a김경일, 연세대학교 화학공학과  a김중현, 연세대학교 화학공학과  aHumidity sensoraPolyimideaHermeticityaMicro packagea마이크로 패키지a습도센서1 a김용호4aut1 a김용준,d1964-0KAC2016365011 a김경일1 a김중현,d1955-0KAC2018168200 t센서학회지.d한국센서학회.g13권 4호(2004년 7월), p. 132-136q13:4<132w(011001)KSE199508532,x1225-547540u45032484aKd00010aKim, Yongho10aKim, Yongjun10aKim, Kyungil10aKim, Joonghyun