01010nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003600080245008600116300002100202545006200223545005400285545005400339545005400393545004800447653002700495700001900522700001400541700001400555700001400569700003600583773013700619KSI00054006220060727114123060726s2004    ulk           000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈc17(5)-17(8)00aFlexible micro sensor/d신규호,e황은수,e김용호,e임창현,e김용준  ap. 25-32;c26 cm  a신규호, 삼성종합기술원 MEMS Lab 전문연구원  a황은수, 연세대 기계공학과 박사과정  a김용호, 연세대 기계공학과 박사과정  a임창현, 연세대 기계공학과 석사과정  a김용준, 연세대 기계공학과 교수  aFlexibleaMicro sensor1 a신규호4aut1 a황은수1 a김용호1 a임창현1 a김용준,d1964-0KAC2016365010 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.17 no.8(2004년 8월), p. 25-32q17:8<25w(011001)KSE199800337,x1226-7937