00791nam a2200193 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003600080245009400116300002100210545005400231545004800285653003900333700001900372700004800391773013700439856002100576KSI00053999820060727114123060726s2004    ulk           000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈc17(5)-17(8)00a나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용/d김강현,e김규태  ap. 17-21;c26 cm  a김강현, 고려대 전기공학과 박사과정  a김규태, 고려대 전기공학과 교수  a나노선a전자빔a식각기술1 a김강현4aut1 a김규태,g金奎兌,d1969-0KAC2018496030 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.17 no.6(2004년 6월), p. 17-21q17:6<17w(011001)KSE199800337,x1226-793740u40132510aKd000