00962nam a2200181 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002300093245027900116300002200395545010900417653003400526700005300560773014900613900001800762KSI00053849220060726150822060725s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a405b국374ㄱc2200a텅스텐-보론-질소 화합물 확산 방지막에 있어서 온도에 따른 보론과 질소의 농도에 따른 XPS 연구=xXPS behavior of tungsten boron nitride compound thin fims related to the temperature dependence of boron and nitrogen concentration/d이창우  ap. 99-108;c26 cm  a이창우, 국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학전공 부교수bcwlee@kookmin.ac.kr  a화합물a보론aXPSaBoron1 a이창우,g李昶雨,d1964-0KAC2018055094aut0 t(基礎科學硏究所)論文集-國民大學校.d國民大學校出版部.g22輯(2003년), p. 99-108q22<99w(011001)KSE199500678,x1226-000210aLee, Changwoo