01130nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002300093245016300116300002300279545010900302545007200411545007200483653003900555700005300594700001400647700001400661773015100675900001800826900001500844900001700859KSI00053798620060726150821060724s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a405b국374ㄱc2100a텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 식각 특성=xEtching behaviors of tungsten boron nitride compound thin fims/d이창우,e김지곤,e이갑용  ap. 133-142;c26 cm  a이창우, 국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학전공 부교수bcwlee@kookmin.ac.kr  a김지곤, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생  a이갑용, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생  a텅스텐a보론aTungstenaBoron1 a이창우,g李昶雨,d1964-0KAC2018055094aut1 a김지곤1 a이갑용0 t(基礎科學硏究所)論文集-國民大學校.d國民大學校出版部.g21輯(2002년), p. 133-142q21<133w(011001)KSE199500678,x1226-000210aLee, Changwoo10aKim, Jigon10aLee, Gabyong