01719na a2200373 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245023500122300002300357545005900380545007600439545005900515545004300574545005900617545004700676653012300723700005300846700004800899700001400947700003600961700001400997700004801011773017701059856002101236900001601257900001501273900001401288900001401302900001401316900001501330KSI00037254120050502160528050426s2002 ggk 000 kor  a0110010 akorbeng01a558.05b한642ㅎㄱc1200a음성 감광막 몰드를 이용한 Ni 과 Ni-W MEMS 구조물 제작=x(A)fabrication of Ni and Ni-W structures for MEMS by using negative photoresist molds/d황완식,e박준식,e김윤호,e박순섭,e이인규,e강성군 ap. 123-130;c26 cm a황완식, 한국항공대학교 항공재료공학과 a박준식, 전자부품연구원(KETI), 한양대학교 재료공학과 a김윤호, 한국항공대학교 항공재료공학과 a박순섭, 전자부품연구원(KETI) a이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과 a강성군, 한양대학교 재료공학과 aElectroformed NiaElectroformed Ni-WaHigh aspect ratio microstructuresaNegative photoresista음성 감광막 몰드1 a황완식,g黃浣植,d1975-0KAC2019G27664aut1 a박준식,g朴浚植,d1968-0KAC2017598791 a김윤호1 a박순섭,d1964-0KAC2019E63181 a이인규1 a강성군,g姜聖君,d1946-0KAC2016364150 t航空宇宙産業技術硏究所 硏究誌.d한국항공대학교 항공우주산업기술연구소.g제12집(2002), p. 123-130q12<123w(011001)KSE200301309,x1598-748540u19599565aKd00210aHwang, W.S.10aPark, J.S.10aKim, Y.H.10aPark, S.S10aLee, I.G.10aKang, S.G.