01607nam a2200361 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003300093245021300126300002300339545004300362545004300405545004300448545004300491545003400534545003200568653019300600700001900793700001400812700003600826700004800862700001400910700001400924773019200938900002001130900002001150900001901170900001901189900001801208900001901226KSI00031990220040830155648040820s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a028.105b한634ㅎㅅc14(1)00a차세대 반도체 세정장비용 스마트 제어기 설계=xDesign of smart controller for new generation semiconductor wet station/d홍광진,e백승원,e조현찬,e김광선,e김두용,e조중근  ap. 149-152;c30 cm  a홍광진, 한국기술교육대학교  a백승원, 한국기술교육대학교  a조현찬, 한국기술교육대학교  a김광선, 한국기술교육대학교  a김두용, 순천향대학교  a조중근, (주) 한국 DNS  a차세대a반도체 장비a세정장비용a스마트a제어기a설계a지능 알고리즘a약액공급장치?aDesignaSmartaControlleraNewaGenerationaSemiconductoraWetaStation1 a홍광진4aut1 a백승원1 a조현찬,d1960-0KAC2018299681 a김광선,g金光宣,d1954-0KAC2013106581 a김두용1 a조중근0 t학술대회 학술발표논문집-한국퍼지 및 지능시스템학회.d한국퍼지 및 지능시스템학회.g14권 1호(2004년 춘계), p. 149-152q14:1<149w(011001)KSE19950752910aHong, Kwang-Jin10aBaek, Seung-Won10aCho, Hyun-Chan10aKim, Kwang-Sun10aKim, Doo-Yong10aCho, Jung-Keun