01450nam a2200301 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003000093245027600123300002200399545006000421545006000481545006800541545006000609653016600669700001900835700004800854700001400902700001400916773013100930856002001061900001901081900001601100900001601116900001601132KSI00035435620040924234731040921s1995    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a559.705b대445ㄷc33(1)00aECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향=x(The)effect of RF substrate biasing on the properties and structure of DLC films by ECR-PECVD/d姜大煥,e金起範,e金泰鎬,e李志華  ap. 99-106;c30 cm  a강대환, 서울대학교 공과대학 금속공학과  a김기범, 서울대학교 공과대학 금속공학과  a김태호, 오리엔트시계공업주식회사 기술연구소  a이지화, 서울대학교 공과대학 공업화학과  aECR-PECVD 법a증착a다이아몬드성 카본박막a구조a성질a기판 rf 바이어스aRF substrate biasingaPropertiesaStructureaDLC filmsaECR-PECVD1 a강대환4aut1 a김기범,g金起範,d1956-0KAC2018038831 a김태호1 a이지화0 t대한금속학회지.d大韓金屬學會.g제33권 1호(1995년 1월), p. 99-106q33:1<99w(011001)KSE199508414,x0253-384740u3233557aKd00010aKang, Dae Hwan10aKim, Ki Bum10aKim, Tae Ho10aLee, Ji Wha