01810nam a2200337 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003200093245032000125300002100445545006700466545004700533545006300580545006300643545006300706653028100769700005301050700001401103700004801117700003601165700001401201773014801215856002101363900001801384900001701402900001701419900001601436900002001452KSI00025582020040708105835040705s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한438ㄱㅈc11(1)00aLaser interferometer를 이용한 초정밀위치결정 피드백시스템의 컴퓨터 시뮬레이션 및 제어성능 평가=xComputer simulation and control performance evaluation for feedback system of ultra positioning by using laser interferometer/d김재열,e이규태,e곽이구,e한재호,e김창현  ap. 17-25;c26 cm  a김재열, 조선대학교 기계공학부bjykim@chosun.ac.kr  a이규태, 조선대학교 기계공학부  a곽이구, 조선대학교 대학원 정밀기계공학과  a한재호, 조선대학교 대학원 정밀기계공학과  a김창현, 조선대학교 대학원 정밀기계공학과  a레이저 간섭계a압전소자a미동 위치결정a조동 위치결정a분해능a시뮬레이션aLaser interferometeraPiezoelectric actuatoraFine positioningaCoarse positioningaResolutionaDSPaDigital signal processingaSimulationaMatlab simulinkaPID controller1 a김재열,g金在烈,d1958-0KAC2018171814aut1 a이규태1 a곽이구,g郭二丘,d1975-0KAC2017265371 a한재호,d1968-0KAC2018308991 a김창현0 t한국공작기계학회논문집.d한국공작기계학회.g제11권 1호(2002년 2월), p. 17-25q11:1<17w(011001)KSE200100574,x1598-098740u30039810aKd00210aKim, Jae-Yeol10aLee, Kyu-Tae10aKwac, Lee-Ku10aHan, Jae-Ho10aKim, Chang-Hyun