01316nam a2200265 c 4500001001300000005001500013008004100028040001000069041001300079052002600092245024600118300002300364545006700387545006700454545006400521653015300585700005300738700004800791700001400839773013100853856002000984900001701004900001401021900001501035KSI00029682320040804112811040802s1993    ulk           000   kor    a011000 akorbeng01a405b광898ㄴㅁc2200a집속이온빔 장치를 위한 액체갈륨이온원의 빔에너지 분포 및 퍼짐특성=xMeasurements of energy distributions and it's spread of liquid gallium ion source in focused ion beam device/d최은하,e조광섭,e강승언  ap. 167-172;c26 cm  a최은하, 광운대학교 공과대학 물리학과 조교수  a조광섭, 광운대학교 공과대학 물리학과 부교수  a강승언, 광운대학교 공과대학 물리학과 교수  a집속이온빔 장치a액체갈륨이온원a빔에너지 분포a퍼짐특성aEnergy distributionsaLiquid galliumaIon sourceaFocused ion beam1 a최은하,g崔銀河,d1960-0KAC2018297744aut1 a조광섭,g曺光燮,d1956-0KAC2013010051 a강승언0 t論文集-光云大學校. 純粹應用科學 編.d光云大學校.g22집(1993년), p. 167-172q22<167w(011001)KSE19950103840u2082882aKd00210aChoi, Eun H.10aCho, G.S.10aKang, S.O.