01788nam a2200337 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245018600124300002300310545009300333545009300426545009300519545009300612545009300705653027900798700004101077700001401118700001401132700001401146700002801160773014501188856002101333900001901354900002101373900002101394900001801415900001701433KSI00024380920040715103503040625s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.7505b한519ㅂc22(4)00a개방형 우물 구조를 이용한 마이크로머신형 pH 센서=xMicromachined pH sensor using open well structures/d김흥락,e김영덕,e정우철,e김광일,e김동수  ap. 347-353;c26 cm  a김흥락, 포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀  a김영덕, 포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀  a정우철, 포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀  a김광일, 포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀  a김동수, 포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀  a벌크 마이크로머신닝a이방성 식각aAg/AgCl 기준전극a액간접촉a한천aPH 미터aPH 센서aBulk micromachiningaAnisotropic etchingaAg/AgCl reference electrodeaLiquid junctionaAgaraPH meteraPH sensora개방형 우물 구조aOpen well structures1 a김흥락,d1967-0KAC2016348684aut1 a김영덕1 a정우철1 a김광일1 a김동수0KAC2018G96170 t비파괴검사학회지.d韓國非破壞檢査學會.g제22권 4호(2002년 8월), p. 347-353q22:4<347w(011001)KSE199508510,x1225-784240u19562748aKd00210aKim, Heung-Rak10aaKim, Young-Deog10aJeong, Woo-Cheol10aKim, Kwang-Il10aKim, Dong-Su