01127nam a2200229 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002600093245022300119300002100342545006000363545006000423653013300483700005300616700001400669773015900683856002000842900001700862900001800879KSI00025319720040727101222040702s1989    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a539.05b한735ㅎc1000a고밀도 환경을 요하는 반도체 공장에서의 미진동 해석에 관한 연구=x(A)study on the micro-vibration analysis which need high precision condition in semi-conductor factory/d오재응,e김동규  ap. 37-52;c26 cm  a오재응, 한양대학교 공과대학 정밀기계과  a김동규, 조선대학교 공과대학 우주항공과  a고밀도 환경a반도체 공장a미진동 해석aMicro-vibration analysisaHigh precision conditionaSemi-conductor factory1 a오재응,g吳在應,d1951-0KAC2017100664aut1 a김동규0 t環境科學論文集-한양대학교 환경공학연구소.d한양대학교출판원.g10집(1989년), p. 37-52q10<37w(011001)KSE199506148,x1598-556340u2002308aKd00210aOh, Jae-Eung10aKim, Dong-Gyu