01197nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003600093245024600129300002300375545006000398545006000458545006000518653007000578700005300648700001400701700004800715773013700763900001500900900001400915900001400929KSI00018483920040521200453040504s2002    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a581.805b한636ㅎc35(1)-35(6)00a아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적 특성 비교=x(A)comparative study on mechanical properties of TiN and TiAlN films prepared by arc ion plating technique/d윤석영,e이윤복,e김광호  ap. 199-205;c26 cm  a윤석영, 부산대학교 공과대학 재료공학부  a이윤복, 부산대학교 공과대학 재료공학부  a김광호, 부산대학교 공과대학 재료공학부  a아크a이온a플레이팅법aTiNaTiAlNaPropertiesaArcaIon1 a윤석영,g尹錫永,d1960-0KAC2016333654aut1 a이윤복1 a김광호,g金光浩,d1957-0KAC2018250140 t한국표면공학회지.d한국표면공학회.g35권 4호(2002년 8월), p. 199-205q 35:4<199w(011001)KSE199509175,x1225-802410aYoon, S.Y.10aLee, Y.B.10aKim, K.H.