00950nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002600093245018100119300002300300545004700323545004700370653008300417700001900500700004800519773013700567900001400704900001400718KSI00018293620040520200439040430s1994    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a581.805b한636ㅎc700a반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석=xAnalysis of the microstructure of reactively sputtered Ta-N thin films/d민경훈,e김기범  ap. 253-260;c26 cm  a민경훈, 서울대학교 금속공학과  a김기범, 서울대학교 금속공학과  a반응성 스퍼터링방법aTa-N 박막aReactively sputteraTa-N thin films1 a민경훈4aut1 a김기범,g金起範,d1956-0KAC2018038830 t한국표면공학회지.d한국표면공학회.g27권 5호(1994년 10월), p. 253-260q27:5<253w(011001)KSE199509175,x1225-802410aMin, K.H.10aKim, K.B.