01289na  a2200289   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003600093245020800129300002100337545005000358545005000408545004000458545004000498653010600538700003300644700004800677700004800725700003600773773013400809900001400943900001400957900001500971900001300986KSI00018149720040520200423040428s2001    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a581.805b한636ㅎc34(1)-34(6)00aRF 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브데늄의 표면 식각 연구=x(A)study on surface etching of metallic Co and Mo in R.F. plasma/d서용대,e김용수,e정종헌,e오원진  ap. 10-16;c26 cm  a서용대, 한양대학교 원자력공학과  a김용수, 한양대학교 원자력공학과  a정종헌, 한국원자력연구소  a오원진, 한국원자력연구소  aRFa플라즈a금속a코발트a몰리브데늄a표면aSurfaceaEtchingaMetallicaCoaMoaPlasma1 a서용대0KAC2020629194aut1 a김용수,g金龍秀,d1956-0KAC2018247991 a정종헌,g鄭宗憲,d1956-0KAC2017012601 a오원진,d1947-0KAC2019F55040 t한국표면공학회지.d한국표면공학회.g34권 1호(2001년 2월), p. 10-16q 34:1<10w(011001)KSE199509175,x1225-802410aSeo, Y.D.10aKim, Y.S.10aJung, C.H.10aOh, W.Z.