00968nam a2200181 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002500093245022200118300002300340545007300363653017600436700004100612773011400653900001900767KSI00029643420040807143210040802s1992    jbk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.05b군485ㄱc200a사중극자질량분석기를 사용한 이론플레이팅 플라즈마내의 이온 운동에너지 측정=xMeasurement of ion's kinetic energy in plasmas for ion plating by quadrupole mass spectrometer/d朱廷焄  ap. 337-348;c27 cm  a주정훈, 군산대학교 공과대학 재료공학과 전임강사  a사중극자질량분석기a이론플레이팅a플라즈마a이온a운동에너지aMeasurementaIonaKineticaEnergyaPlasmasaPlatingaQuadrupoleaMassaSpectrometer1 a주정훈,d1962-0KAC2017020804aut0 t工學硏究論文集.d群山大學校 工學硏究所.g2집(1992), p. 337-348q2<337w(011001)KSE19950177410aJoo, Jung Hoon