00941na  a2200193   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002600093245013200119300002300251545008500274653013000359700004100489773017500530856002100705900002100726KSI00023242820040706111900040617s2001    jjk           000   kor    a0110010 akorbeng01a505b제577ㅅc12(2)00a엑시머 레이저를 이용한 3차원 마이크로 가공=xThree dimensional micromachining using excimer laser/d최경현  ap. 101-106;c27 cm  a최경현, 제주대학교 기계에너지생산공학부, 산업기술연구소  a엑시머레이저a마이크로aMicromachiningaExcimer laseraHole area modulationaHAMaSimulationaGenetic algorithmaGA1 a최경현,d1960-0KAC2018292864aut0 t尖端技術硏究所論文集.d제주대학교 공과대학 첨단기술연구소.g제12권 2호(2001년 12월), p. 101-106q12:2<101w(011001)KSE200201193,x1598-584940u19566124aKd00210aChoi, Kyung-Hyun