00753nam a2200181 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003900080245007400119300003000193545005000223545005000273653005200323700001900375700004800394773012900442KSI00009551520040225141650031010s2001    ulka          000   kor    a01100101a559.705b대445ㄷㅎc14(5)-14(8)00a차세대 노광공정과 마스크의 개발/d이승윤,e안진호  ap. 40-46:b삽도;c26 cm  a이승윤, 한양대학교 신소재공학부  a안진호, 한양대학교 신소재공학부  a차세대 노광공정a노광공정a마스크1 a이승윤4aut1 a안진호,g安鎭浩,d1963-0KAC2018036700 t재료마당.d대한금속·재료학회.gVol.14, no.6(2001년 10월), p. 40-46q14:6<40w(011001)KSE200000531,x1225-1550