01778nam a2200409 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245022700124300003000351545005000381545005000431545005000481545004700531545004700578545004700625545005600672653012700728700001900855700001400874700004800888700001400936700001400950700004800964700002801012773017101040856002001211900001901231900001601250900001801266900002001284900002101304900001801325900002501343KSI00005494720040223132823031112s2001    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.27405b한488ㅁc8(2)00aMo/Si 다층박막의 극자외선 반사도에 대한 전산모사=xOptical simulation on EUV reflectivity of Mo/Si multilayer structure/d이영태,e강인용,e정용재,e이승윤,e허성민,e안진호,e복철규  ap. 19-24:b삽도;c26 cm  a이영태, 한양대학교 세라믹공학과  a강인용, 한양대학교 세라믹공학과  a정용재, 한양대학교 세라믹공학과  a이승윤, 한양대학교 재료공학과  a허성민, 한양대학교 재료공학과  a안진호, 한양대학교 재료공학과  a복철규, 현대전자산업㈜ 메모리연구소  aMoaSia다층박막a극자외선a반사도a전산모사aOpticalaSimulationaEUVaReflectivityaMultilayeraStructure1 a이영태4aut1 a강인용1 a정용재,g鄭容在,d1965-0KAC2018334681 a이승윤1 a허성민1 a안진호,g安鎭浩,d1963-0KAC2018036701 a복철규0KAC2020444790 t마이크로전자 및 패키징학회지.d한국마이크로전자 및 패키징학회.g8권 2호(2001년 6월), p. 19-24q8:2<19w(011001)KSE199900824,x1226-936040u3347940aKd00010aBok, Cheol Kyu10aAhn, Jin Ho10aHuh, Sung Min10aLee, Seung Yoon10aChung, Yong Chae10aKang, In Yong10aLee, Young Tae Kang,