01581nam a2200337 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245019700124300002800321545005000349545007100399545007100470545005000541545007100591653011000662700004800772700001400820700004800834700002800882700005300910773016800963856002001131900001801151900002001169900001801189900001601207900002001223KSI00005491020040223132823031112s2001    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.27405b한488ㅁc8(2)00a가습된 N₂/H₂ 혼합가스 분위기에서의 kovar 산화 거동=x(The)oxidation of kovar in humidified N₂/H₂ atmosphere/d김병수,e김민호,e김상우,e최덕균,e손용배  ap. 1-7:b삽도;c26 cm  a김병수, 한양대학교 세라믹공학과  a김민호, 한국과학기술연구원 세라믹공정연구센터  a김상우, 한국과학기술연구원 세라믹공정연구센터  a최덕균, 한양대학교 세라믹공학과  a손용배, 한국과학기술연구원 세라믹공정연구센터  a가습aN₂aH₂a혼합가스a가스분위기aKovara산화거동aOxidationaHumidifiedaAtmosphere1 a손용배,g孫容培,d1955-0KAC2020692741 a최덕균1 a김상우,g金尙佑,d1962-0KAC2018467741 a김민호0KAC2018A08091 a김병수,g金昞守,d1987-0KAC2018713484aut0 t마이크로전자 및 패키징학회지.d한국마이크로전자 및 패키징학회.g8권 2호(2001년 6월), p. 1-7q8:2<1w(011001)KSE199900824,x1226-936040u3347933aKd00010aSon, Yong-Bai10aChoi, Duck-Kyun10aKim, Sang-Woo10aKim, Min-Ho10aKim, Byoung-Soo