01183nam a2200229 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245023200124300003000356545004700386545004700433653015900480700004100639700004800680773017100728856002000899900001800919900001600937KSI00005387220040223132821031112s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.27405b한488ㅁc7(2)00a저유전상수 폴리머와 SiO₂ 기판위에 형성된 AL/TI 박막의 우선방위 비교=xComparative study of texture of AL/TI thin films deposited on low dielectric polymer and SiO₂ substrates/d유세훈,e김영호  ap. 37-42:b삽도;c26 cm  a유세훈, 한양대학교 재료공학과  a김영호, 한양대학교 재료공학과  a저유전상수a폴리머aSiO₂a기판aALaTIa박막a우선방위aComparativeaTextureaThin filmsaDepositedaLow dielectricaPolymeraSubstrates1 a유세훈,d1972-0KAC2017221494aut1 a김영호,g金暎鎬,d1956-0KAC2017431410 t마이크로전자 및 패키징학회지.d한국마이크로전자 및 패키징학회.g7권 2호(2000년 6월), p. 37-42q7:2<37w(011001)KSE199900824,x1226-936040u3347867aKd00010aKim, Young-Ho10aYoo, SeHoon