01675nam a2200373 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003100093245019900124300002800323545006200351545006200413545005900475545006200534545006200596545006200658653009400720700005300814700003600867700001100903700004800914700001400962700004800976773016801024856002001192900001501212900001501227900001201242900001501254900001601269900001601285KSI00005374320040223132820031112s2000    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a569.27405b한488ㅁc7(1)00a고주파 MCM-C용 내부저항의 제작 및 특성평가=xFabrication and characterization of buried resistor for rf MCM-C/d조현민,e이우성,e임욱,e유찬세,e강남기,e박종철  ap. 1-5:b삽도;c26 cm  a조현민, 전자부품연구원 통신부품연구센터  a이우성, 전자부품연구원 통신부품연구센터  a임욱, 전자부품연구원 통신부품연구센터  a유찬세, 전자부품연구원 통신부품연구센터  a강남기, 전자부품연구원 통신부품연구센터  a박종철, 전자부품연구원 통신부품연구센터  aMCM-Ca고주파aMCMCa내부저항aFabricationaCharacterizationaBuriedaResistoraRf1 a조현민,g趙顯敏,d1970-0KAC2012012424aut1 a이우성,d1966-0KAC2018459551 a임욱1 a유찬세,g兪璨世,d1973-0KAC2018594601 a강남기1 a박종철,g朴鍾徹,d1957-0KAC2018452910 t마이크로전자 및 패키징학회지.d한국마이크로전자 및 패키징학회.g7권 1호(2000년 3월), p. 1-5q7:1<1w(011001)KSE199900824,x1226-936040u3347836aKd00010aCho, H. M.10aLee, W. S.10aLim, W.10aYoo, Y. S.10aKang, N. K.10aPark, J. C.