00789nam a2200205 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003200080245007600112300003000188545004700218545004700265545004100312653003600353700001900389700001400408700003600422773012500458KSI00005764620040114094421031010s2002    ulka          000   kor    a01100101a560.5b전793ㅈc7(1)-7(3)00a반도체 공정용 플라즈마원/d정진욱,e이용관,e장홍영  ap. 21-25:b삽도;c28 cm  a정진욱, 플라즈마트 기술연구소  a이용관, 플라즈마트 기술연구소  a장홍영, KAIST 물리학과 교수  a반도체a공정a플라즈마1 a정진욱4aut1 a이용관1 a장홍영,d1954-0KAC2018170180 t전력전자학회지.d電力電子學會.g7卷 1號(2002년 2월), p. 21-25q7:1<21w(011001)KSE199800404,x1226-623X