01446nam a2200337 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002300093245023000116300002100346545006500367545006500432545005900497545006800556545006500624653009100689700001400780700003600794700001400830700001400844700001900858773012100877856002000998900001901018900001601037900001901053900001801072900001801090KSI00003738920040205103750031103s2002    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅ00a광 저장장치 응용을 위한 마이크로 미러의 제작과 그 특성=xFabrication and characteristics of electrostatic micro mirror for optical disk drives/d김종완,e서화일,e이우영,e임경화,e장영조  ap. 39-47;c26 cm  a김종완, 한국기술교육대학교 정보기술공학부  a서화일, 한국기술교육대학교 정보기술공학부  a이우영, 한국기술교육대학교 기계공학부  a임경화, 한국기술교육대학교 제어시스템공학과  a장영조, 한국기술교육대학교 정보기술공학부  a광 저장장치a마이크로 미러aElectrostatic micro mirroraOptical disk drives1 a장영조1 a서화일,d1961-0KAC2017052381 a임경화1 a이우영1 a김종완4aut0 t센서학회지.d한국센서학회.g11권 1호(2002년 1월), p. 39-47q11:1<39w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316681aKd00010aJang, Young-jo10aSeo, Hwa-il10aRim, Kyung-hwa10aLee, Wooyoung10aKim, Jong-wan