02070nam a2200409 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003600093245045200129300002300581545005800604545005800662545005800720545005800778545005800836545004700894545005800941653019000999700001401189700004801203700001401251700001901265700004801284700001401332700004801346773012401394856002001518900001601538900001501554900002101569900001701590900001801607900001801625900001701643KSI00003708020040204103744031031s2001    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc10(4)-10(6)00aNH₄OH-H₂O₂-H₂O 혼합액을 이용한 GaAs의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법=xWet-etching properties of GaAs using NH₄OH-H₂O₂-H₂O mixed solution and its application to fabrication method for released GaAs microstructures with rectangular cross section/d김종팔,e박상준,e백승준,e김세태,e구치완,e이승기,e조동일  ap. 304-313;c26 cm  a김종팔, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  a박상준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  a백승준, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  a김세태, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  a구치완, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  a이승기, 단국대학교 전기공학과  a조동일, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부  aNH₄OH-H₂O₂-H₂O 혼합액aGaAs미세구조물a습식식각a사각형단면aWet-etchingaNH₄OH-H₂O₂-H₂O mixed solutionaGaAs microstructuresaRectangular cross section1 a구치완1 a김세태,g金世泰,d1976-0KAC2020742641 a백승준1 a김종팔4aut1 a이승기,g李承起,d1963-0KAC2013261721 a박상준1 a조동일,g趙東日,d1958-0KAC2018267420 t센서학회지.d한국센서학회.g10권 5호(2001년 9월), p. 304-313q10:5<304w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316647aKd00010aKoo, Chiwan10aKim, Setae10aPaik, Seung-Joon10aKim, Jongpal10aLee, Seung-Ki10aPark, Sangjun10aCho, Dong-Il