01890nam a2200445 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245027900122300002100401545005600422545005600478545005600534545005600590545005600646545005300702545005300755545005300808653014400861700001901005700001401024700001401038700001401052700001401066700001401080700001401094700004801108773011901156856002001275900002101295900001901316900001801335900001801353900001701371900001801388900001901406900001901425KSI00003484920040205103641031030s1999    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc8(1)00a8빔 압저항형 가속도센서의 자기진단 기능을 위한 IC칩 제조=xFabrication of IC chip for self-diagnostic function of a eight-beam piezoresistive accelerometer/d박창현,e전찬봉,e강희석,e김종집,e이원태,e심준환,e김동권,e이종현  ap. 38-44;c26 cm  a박창현, 삼성전자(주) 반도체 제조본부  a전찬봉, 삼성전자(주) 반도체 제조본부  a강희석, 삼성전자(주) 반도체 제조본부  a김종집, 삼성전자(주) 반도체 제조본부  a이원태, 삼성전자(주) 반도체 제조본부  a심준환, 한국해양대 전자통신공학과  a김동권, 경북대학교 전자전기공학부  a이종현, 경북대학교 전자전기공학부  a8빔a압저항형a가속도센서a자기진단기능aIC칩aSelf-diagnostic functionaEight-beamaIC chipaPiezoresistive accelerometer1 a박창현4aut1 a전찬봉1 a강희석1 a김종집1 a이원태1 a심준환1 a김동권1 a이종현,g李鍾玄,d1949-0KAC2018164640 t센서학회지.d한국센서학회.g8권 1호(1999년 1월), p. 38-44q8:1<38w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316380aKd00010aPark, Chang-Hyun10aJun, Chan-Bong10aKang, Hee-Suk10aKim, Jong-Jib10aLee, Won-Tae10aSim, Jun-Hwan10aKim, Dong-Kwon10aLee, Jong-Hyun