01184nam a2200265 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245022700122300002100349545004700370545004700417545004700464653013100511700001900642700004800661700001400709773011900723856002000842900002100862900001700883900001800900KSI00003355020040115103558031029s1997 tgk 000 kor  a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc6(1)00a실리콘 마이크로머시닝을 이용한 플래퍼-노즐 밸브의 제작 및 특성 실험=xFlapper-nozzle valve fabrication using silicon micromachining and flow characterization/d권영신,e김태현,e조동일 ap. 72-80;c26 cm a권영신, 서울대학교 전기공학부 a김태현, 서울대학교 전기공학부 a조동일, 서울대학교 전기공학부 a실리콘a마이크로머시닝a플래퍼-노즐밸브aFlapper-nozzle valveaSiliconaMicromachiningaFlow characterization1 a권영신4aut1 a조동일,g趙東日,d1958-0KAC2018267421 a김태현0 t센서학회지.d한국센서학회.g6권 1호(1997년 1월), p. 72-80q6:1<72w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316259aKd00010aKwon, Young-Shin10aCho, Dong-Il10aKim, Tae-Hyun