01507nam a2200337 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245023100122300002100353545005400374545004700428545005400475545005400529545005400583653013400637700001900771700001400790700003600804700004800840700004800888773012000936856002001056900001901076900001701095900002001112900001901132900001801151KSI00003338920040224103554031029s1996    tgk           000   kor    a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc5(4)00a스트레스균형이 이루어진 멤버레인 및 박막 열전대를 응용한 유체센서=xFlow sensor using stress-balanced membrane and thin film thermocouple/d安永培,e金鎭燮,e金明奎,e李鍾玄,e李正熙  ap. 51-59;c26 cm  a안영배, 경북대학교 전자 전기공학부  a김진섭, 인제대학교 전자공학과  a김명규, 경북대학교 전자 전기공학부  a이종현, 경북대학교 전자 전기공학부  a이정희, 경북대학교 전자 전기공학부  a스트레스균형a멤버레인a박막a열전대a유체센서aStress-balanced membraneaFlow sensoraThin filmaThermocouple1 a안영배4aut1 a김진섭1 a김명규,d1967-0KAC2017345381 a이종현,g李鍾玄,d1949-0KAC2018164641 a이정희,g李正熙,d1957-0KAC2018348700 t센서학회지.d한국센서학회.g5권 6호(1996년 11월), p. 51-59q5:6<51w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316247aKd00010aAhn, Yeong-Bae10aKim, Jin-Sup10aKim, Myung-Gyoo10aLee, Jong-Hyun10aLee, Jung-Hee