01583nam a2200373 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245022800122300001900350545005300369545005300422545005300475545004700528545005300575545005300628653013600681700004100817700001400858700001400872700001400886700004800900700001400948773011600962856002001078900002001098900001901118900001901137900001701156900001801173900001801191KSI00003304420040223103540031029s1996 tgk 000 kor  a0110010 akorbeng01a569.805b한536ㅅc5(4)00a광학적 신호감지의 유전박막 다이아프레임을 이용하는 압력센서=xThin dielectric diaphragm pressure sensor with optical readout/d金明奎,e柳亮旭,e朴東秀,e金鎭燮,e李正熙,e孫炳基 ap. 1-7;c26 cm a김명규, 경북대학교 전자전기공학부 a유양욱, 경북대학교 전자전기공학부 a박동수, 경북대학교 전자전기공학부 a김진섭, 인제대학교 전자공학과 a이정희, 경북대학교 전자전기공학부 a손병기, 경북대학교 전자전기공학부 a광학적 신호감지a유전박막a다이아프레임a압력센서aThin dielectric diaphragmaPressure sensoraOptical readout1 a김명규,d1967-0KAC2017345384aut1 a유양욱1 a박동수1 a김진섭1 a이정희,g李正熙,d1957-0KAC2018348701 a손병기0 t센서학회지.d한국센서학회.g5권 4호(1996년 7월), p. 1-7q5:4<1w(011001)KSE199508532,x1225-547540u3316220aKd00010aKim, Myung-Gyoo10aRyu, Yang-Woog10aPark, Dong-Soo10aKim, Jin-Sup10aLee, Jung-Hee10aSohn, Byung-K