00948nam a2200217 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052002300080245008400103300003000187545006000217545006000277545005700337653007500394700001900469700003600488700004800524773013700572856002100709KSI00017935020031229193209031218s2003    ulka          000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈ00a강유전체 박막의 식각 기술 동향/d임규태,e김동표,e김창일  ap. 28-35:b삽도;c26 cm  a임규태, 중앙대 전자전기공학부 석사과정  a김동표, 중앙대 전자전기공학부 박사과정  a김창일, 중앙대 전자전기공학부 부교수  a강유전체a강유전체박막a박막a식각a식각기술a기술1 a임규태4aut1 a김동표,d1972-0KAC2016361161 a김창일,g金昌日,d1960-0KAC2018385740 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.16 no.3(2003년 3월), p. 28-35q16:3<28w(011001)KSE199800337,x1226-793740u40132457aKd000