00915nam a2200205 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003600080245009500116300003000211545005700241545005100298545005100349653006900400700005300469700003600522700001400558773013700572KSI00017845820040220193203031218s2000    ulka          000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈc13(1)-13(4)00a강유전체 및 전극 재료의 식각 기술 동향/d김창일,e김동표,e민병준  ap. 33-38:b삽도;c26 cm  a김창일, 중앙대 전자전기공학부 조교수  a김동표, 중앙대 전기공학과 대학원  a민병준, 중앙대 전기공학과 대학원  a강유전체a전극a전극재료a재료a식각기술a기술1 a김창일,g金昌日,d1960-0KAC2018385744aut1 a김동표,d1972-0KAC2016361161 a민병준0 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.13 no.4(2000년 4월), p. 33-38q13:4<33w(011001)KSE199800337,x1226-7937