00822nam a2200181 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003600080245009200116300003000208545007800238545008400316653003600400700005300436700001400489773013700503KSI00017828620040220193200031218s2000    ulka          000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈc13(1)-13(4)00a질화물·탄화물 반도체의 응용과 연구개발 현황/d노삼규,e김은규  ap. 34-42:b삽도;c26 cm  a노삼규, 한국표준과학연구원 박막연구그룹 책임연구원  a김은규, 한국과학기술연구원 반도체재료연구실 책임연구원  a질화물a탄화물a반도체1 a노삼규,g盧三珪,d1952-0KAC2016368094aut1 a김은규0 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.13 no.1(2000년 1월), p. 34-42q13:1<34w(011001)KSE199800337,x1226-7937