00924na  a2200205   4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002600093245014400119300003200263545005100295545003100346653006300377700004800440700001900488773019100507856002000698KSI00014687820040204193102031211s1998    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a530.05b경152ㅅc1600a마스크 폭에 따른 이온 분포의 모의실험=xSimulation of ion distribution according to mask dimensions/d안병목,e정원채  ap. 191-198:b삽도;c26 cm  a안병목, 전자공학과 대학원 재학중  a정원채, 전자공학과  a이온a분포aSimulationaDistributionaMaskaDimensions1 a정원채,g鄭遠采,d1957-0KAC2018248681 a안병목4aut0 t산업기술종합연구소 논문집-경기대학교 산업기술종합연구소.d경기대학교 산업기술종합연구소.g16집(1998년), p. 191-198q16<191w(011001)KSE19960044140u1999617aKd002